半导体主要由四个组成部分组成：集成电路(约占81%)，光电器件(约占10%)，分立器件(约占6%)，传感器(约占3%)，因此通常将半导体和集成电路等价。

在整个半导体产业链中，半导体材料处于产业链上游，是整个半导体行业的重要支撑。在集成电路芯片制造过程中，每一个步骤都需要用到相应的材料。

半导体材料是半导体行业的物质基础，材料质量的好坏决定了最终集成电路芯片质量的优劣，并影响到下游应用端的性能。因此，半导体材料在整个产业链中有着重要地位。其中半导体材料包括：硅、光刻胶、掩膜版、电子气体、湿化学品、溅射靶材及CMP抛光材料等。

本期小编将和大家一起聊聊湿化学品。

湿化学品的种类：主要包括过氧化氢、氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、氢氧化铵、氟化铵、氢氧化钾、氢氧化纳、甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、丁酮、甲基异丁基酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、乙酸（醋酸）、乙二酸（草酸）、甲苯、二甲苯、环己烷、三氯乙烷、三氯乙烯等。

半导体领域：纯度要求较高，基本集中在SEMI G3、以上水平，我国的研发水平与国际尚存在较大差距。

不同线宽的集成电路工艺中必须使用不同规格的超净高纯试剂进行蚀刻和清洗，且超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重要的影响。

那湿化学品的市场份额是怎样的呢？

基本被国外企业垄断：欧美占比约33%，日本约占27%，韩国约19%，中国大陆约11%。这11%主要集中在以太阳能和平板显示等中低端领域。半导体领域鲜有涉及。

集成电路产业已上升至国家发展最高层面，那么在半导体产业的国内湿化学品发展情况如何呢？

目前国内湿化学品企业代表：

2018 年 4 月下旬，晶瑞化学结合从日本三菱化学株式会社引进的电子级硫酸先进制造技术，投资建设年产 9 万吨/年的电子级硫酸项目。

2018 年第三季度，湖北兴福的电子级硫酸技术攻关取得重大突破，产品品质超越G4级别。

江阴江化微电子材料，年产 8 万吨的超高纯湿电子化学品生产基地已达到国际规模水平。是目前国内生产规模大、品种齐全、配套完善的湿电子化学品专业服务提供商。

苏州晶瑞化学股份计划总投资额约 2 亿元投资建设年产 5.4 万吨微电子材料及循环再利用项目，将提供双氧水，氨水，浓硫酸达到G5等级。

福建在湿化学品产业也有布局：

福建雅鑫电子材料有限公司 成立于2018年2月，总投资7亿元人民币生产超高纯氢氟酸、硫酸、盐酸、硝酸、氟化铵、双氧水、氨水及各种蚀刻液。计划2020年12月试生产，年产能22.8万吨，达产后是中国最大的湿电子化学品制造商。是台积电、中芯国际、台湾联电、华宏科技等电子企业生产中不可或缺的原料。

福建天甫电子材料有限公司 成立于2018年5月，总投资约12.6亿元人民币，投产后各电子化学品年产量36万吨，其中以电子级硫酸、氢氟酸、氨水、双氧水等产品将成为中国华南地区大型生产基地。

随着产业链的不断完善，技术的不断攻克，上述规模企业量产后有望逐步化解国内半导体应用湿电子化学品市场占有率尴尬的局面。

其中，湿化学品金属杂质的检测主要依托于：ICP-MS，目前半导体行业的检测极限已达到ppq（10-3ppt）级别。最难检测的硼（B）已可检测到500ppq即0.5ng/L。

如何进行化学品含量的超痕量元素分析非常关键。国际半导体设备与材料组织超净高纯试剂制定了国标等级分类标准：

SEMI G5标准要求金属杂质总量少于10ppt。单元素总量需低于1ppt。

Milli-Q IQ Element，其前身也叫Q-POD Element，相信不少Milli-Q的忠实粉丝已经知道或者已经拥有了这款专为微量元素分析（ICPMS）量身定做的超纯水系统。

全新第七代Milli-Q IQ Element，可与Milli-Q IQ7000及 Milli-Q IQ70XX系列产品配套使用。

升级以后的IQ Element特点更加突出了。

特殊设计的IPAK Quanta®ICP精滤柱去除痕量离子,0.1 µm Optimizer LW™终滤器去除痕量微粒,可提供分析级超纯水，适用于痕量和超痕量元素分析，包括ICP-MS、GF-AAS和痕量 IC。提供极低水平的元素污染物，从单个ppt到亚ppt检测水平。（表示溶液浓度时，1ppt即为1ng/L）。

关于更多分析指标、实验方法、产品细节等信息的询问，您可以直接联系区域Milli-Q纯水机销售或在线客服人员微信咨询索取IQ Element 资料。